潔凈室氣密測試程序的描述
潔凈室氣密測試程序的描述
日期：2025-09-05 00:54
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摘要：
潔凈室氣密測試程序：
1.確定采樣點的位置及數量，采樣點應均勻分布于潔凈室(區)的面積內，并應位于工作面高度。
2.確定單次*小采樣量與取樣時間。每個采樣點的采樣量應至少為2L，采樣時間應至少為1min，當潔凈室(區)僅有1個采樣點時，在該點應至少采樣3次。METone3445塵埃粒子計數器采樣流量為100L/min，因此單次取樣時間1分鐘時，能滿足測試要求。
3.粒子計數器的采樣探頭不得直接置于送風口整下方。當測單向流設施的潔凈度時，采樣頭應對準氣流;當測非單向流時，采樣探頭一律朝上。
4.室內測試人員應穿潔凈服，不得超過3人，測試人員應位于測試點的下風側并遠離測試點，并應保持靜止。進行換點操作時，動作要輕，應減少人員對室內潔凈度的干擾。
5.當采樣點只有1個或多于9個時，不計算95%置信上限;當采樣點為1個以上10個以下時，除應計算各采樣點的平均值和總平均值外，還應計算計算95%置信上限。