潔凈室氣密測(cè)試的基本原理
潔凈室氣密測(cè)試的基本原理
日期：2025-09-01 11:29
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摘要：
潔凈室氣密測(cè)試是很重要的，簡(jiǎn)單直觀的一點(diǎn)就是潔凈車(chē)間（室）的氣密性可以防止負(fù)壓潔凈室內(nèi)污染物的外泄，如果這一項(xiàng)未檢測(cè)甚至相關(guān)檢測(cè)人員連氣密性檢測(cè)方法都不懂的話，那這個(gè)潔凈車(chē)間（室）的驗(yàn)收就得越加另請(qǐng)高明了。針對(duì)這個(gè)潔凈車(chē)間（室）氣密性檢測(cè)，在合景凈化這里是有檢測(cè)方法的，下面就給大家分享潔凈車(chē)間氣密性檢測(cè)方法。
基本原理
1、維持無(wú)塵車(chē)間（室）內(nèi)為正壓或負(fù)壓均能達(dá)到檢測(cè)要求，但必要條件準(zhǔn)許時(shí)，負(fù)壓潔凈車(chē)間（室）宜用正壓檢測(cè)，正壓潔凈車(chē)間（室）宜用負(fù)壓檢測(cè)。
2、可按下面兩種方式方法開(kāi)展氣密性檢測(cè):
2.1 - 壓力衰減法
使?jié)崈糗?chē)間（室）內(nèi)達(dá)到某一壓力(正壓或負(fù)壓)，然后關(guān)掉供壓或抽負(fù)壓系統(tǒng)，仔細(xì)觀察壓力隨時(shí)間慢慢哀減的情況，然后記錄下壓力衰減到開(kāi)始?jí)毫Φ亩种粫r(shí)用到的時(shí)間，便是測(cè)量潔凈車(chē)間（室）內(nèi)正壓或負(fù)壓的半衰期。
2.2 - 恒壓法
使?jié)崈糗?chē)間（室）內(nèi)達(dá)到某一正壓，與此同時(shí)向潔凈車(chē)間（室）內(nèi)補(bǔ)氣，使室壓達(dá)到要求的穩(wěn)定值而不降低時(shí)的補(bǔ)氣量便是漏泄量。使?jié)崈糗?chē)間（室）內(nèi)達(dá)到某一負(fù)壓，使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不降低時(shí)的抽氣量便是漏泄量。
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